研發(fā)用輥涂機(jī)
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產(chǎn)品名稱:
研發(fā)用輥涂機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
SRC-100V
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
PHIL佐藤 研發(fā)用輥涂機(jī) SRC-100V
研發(fā)用輥涂機(jī)
的詳細(xì)介紹
PHIL佐藤 研發(fā)用輥涂機(jī) SRC-100V
適用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)的緊湊型高性能輥涂機(jī)。 可提供等離子處理、濺射和沉積裝置。
主仕様
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到達(dá)圧力
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×10?5 Pa
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真空計(jì)
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BA 真空計(jì)、電容式壓力計(jì)
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工作尺寸
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W100mm×L200ｍ×t 50～100um
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進(jìn)料速度
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0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
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真空槽
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SUS304 ?。?00×Ｈ850×Ｄ450㎜
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滾動(dòng)錐
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φ250 水冷式
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軸向密封
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使用磁性密封
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沉積前等離子處理
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13.56ＭＨｚ ＲＦ電極 ×１式
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蒸発源
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(1) 70 x 200 直流磁控管型 x *多 2 套
(ii) 電阻蒸發(fā)源
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主ポンプ
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ＴＭＰ 1100L/s
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水分排気
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ＣＲＹＯスーパートラップ
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工藝氣體
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Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
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床面積
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4㎡
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水電
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?AC200V 3φ 100A ?冷卻水
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